支持EtherCAT®的直驱大转矩伺服电机™用驱动器将投放市场

　　日本精工株式会社(以下简称NSK)将向市场推出可兼容EtherCAT*1的NSK高精度定位和搬运设备用“直驱大转矩伺服电机”驱动器(“驱动器EGC型”和“信号变换器ECC型”，以下简称本产品)。本产品不仅保证了直驱大转矩伺服电机的高耐环境性能，同时可对多台电机集成控制，实现高速同步运转，以及更精细的旋转定位。这将有助于提升半导体制造设备及其它应用设备的高精度定位能力，从而提高生产效率。
 

　　本产品已于2024年12月在东京「SEMICON Japan 2024」上展出。根据现场客户的反馈意见优化后，直驱大转矩伺服电机PS3015、PN4135的两型号将于2025年4月首发。预计到2026年3月，本产品将可对应直驱大转矩伺服电机的11种型号，计划在2026年实现15亿日元的销售额。
 

▲直驱大转矩伺服电机(左)和本产品(右)
 

　　EtherCAT是一种工业以太网技术，具有出色的实时性，近年来市场份额不断扩大，可实现多电机集成控制和高速同步运行
 

　　与现有产品相比，直驱大转矩伺服电机*2的角度分辨率*3提高了1.6倍(提高至419万计数/转)，实现更精确的旋转定位
 

　　计划从2025年4月起逐步开始销售，可广泛应用于半导体制造设备及其他应用设备
 

　　◎ 开发背景
 

　　▸直驱大转矩伺服电机的特点
 

　　直驱大转矩伺服电机是NSK的直接驱动电机产品(无需减速箱，伺服电机直接与旋转部件相连的高精度定位·搬运设备)。轴承、伺服电机和角度传感器的一体化结构可精确驱动旋转运动，使运输对象快速移动并停在正确位置。它具有较高的环境耐受性，其中，角度传感器使用了高可靠性的专用旋变传感器*4，即使在严苛的环境中也能保持性能稳定，被广泛应用于半导体制造设备及工业机械设备。
 

▲带减速箱的伺服电机的使用例(左)、直驱大转矩伺服电机(右)
 

　　▸直驱大转矩伺服电机的市场要求
 

　　近年来，在工业4.0和物联网发展趋势的背景下，工业以太网作为连接设备与通信的现场网络，凭借其高速性和实时性在各类工业自动化领域中得到快速普及。在半导体制造设备行业中，EtherCAT凭借其卓越的实时性能，在工业以太网标准中占据了越来越大的份额，因此，对直驱大转矩伺服电机，可支持EtherCAT运行的需求也越来越高。另外，除了半导体制造设备，在电子元件检测设备和图像处理设备等应用领域中，EtherCAT兼容的需求也在不断增长。另一方面，在半导体产品精度不断提高的背景下，对直驱大转矩伺服电机的精度要求也进一步提高。
 

　　◎ 产品特点
 

　　▸支持EtherCAT，可实现对多台电机集成控制和高速同步运行
 

　　直驱大转矩伺服电机上可应用EtherCAT，可实现包含直驱大转矩伺服电机及其他装置设备的多台电机集成控制和高速同步运行。这缩短了设备的启动时间和各工序的操作时间，有助于提高生产效率。
 

　　▸与目前专用的驱动单元情况相比，直驱大转矩伺服电机的角度分辨率提高了1.6倍（达到419万计数/转），从而实现了更精确的旋转定位
 

　　本产品的变频器，对直驱大转矩伺服电机内置的专用分解器发出的信号进行模拟/数字化处理，使角度分辨率比现有产品(角度分辨率：262万计数/转)提高了1.6倍(角度分辨率：419万计数/转)。这使得直驱大转矩伺服电机的旋转定位更加精确，有助于设备高精度定位。
 

　　▸可对应现有直驱大转矩伺服电机11种型号
 

　　本产品能匹配11种型号产品系列的直驱大转矩伺服电机，可广泛应用于半导体制造、电子元件检测、图像处理等多种设备。即使是已经使用直驱大转矩伺服电机的设备，也可以通过安装本产品实现EtherCAT的技术支持。
 

　　◎ 开发品的效果
 

　　该产品的推出，在保持直驱大转矩伺服电机现有的高耐环境性能的同时，实现了对多台电机的集成控制和高速同步运转，并使直驱大转矩伺服电机的旋转定位更加精确。这将有助于提高半导体制造设备等各种应用设备的生产效率和定位精度。
 

　　*1 EtherCAT (Ethernet Control Automation Technology) : 德国Beckhoff Automation GmbH的注册商标和专利技术。
 

　　*2 直驱大转矩伺服电机: NSK直接驱动式电机(不使用减速箱的高精度定位·搬运设备)。点击阅读原文了解更多☟
 

　　*3 角度分辨率: 电机旋转一次(360度)所能控制的最小旋转角度。
 

　　*4 旋变传感器: 由线圈和铁芯组成，根据旋转角度输出交流信号的角度传感器。
 

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