NSK精机精品｜一“气”呵成，解锁空气主轴的精密之道

2026年08月17日 14:55:23 人气: 1902 来源: NSKChina恩斯克

　　随着5G通信、物联网、人工智能等新兴技术快速发展，半导体产业持续迈向高精度、高效率制造，对加工设备的性能提出了更高要求。作为先进精密制造的重要核心部件，空气主轴以高压空气为动力源，实现无接触、低摩擦、高速旋转，为超高精密加工提供稳定可靠的动力支持。

　　凭借高精度、高刚性、高转速及长寿命等优异性能，空气主轴的应用领域正不断拓展，已逐步应用于晶圆减薄设备、划片机、超高精密机床等前沿制造领域，助力科技创新与产业升级。

空气主轴的组成：高精度气浮轴承、直驱电机和旋转编码器

　　气浮轴承：通过空气形成无摩擦气膜，大幅降低机械磨损与发热，有利于稳定性和精度的保持。

　　直驱电机驱动主轴旋转，省去传统机械结构，提高传输效率以及主轴控制精度。

　　旋转编码器：实时监测并反馈主轴转速、位置等参数，利用先进算法与控制技术实现主轴的精细调控。

　　压缩空气通过给气槽扩散至多孔质内，与固体润滑剂结合，形成无接触气膜。

▲空气轴承结构

　　NSK空气主轴特点

　　高刚性：轴向刚性最高可实现1400N/μm

　　高转速：GBK240最高可实现6000rpm

　　轴向&径向跳动：可实现1μm以内

　　长寿命：采用高压缩空气，无接触、低摩擦、可实现超长使用寿命

　　低空气消耗流量：采用滑动性能良好的多孔质石墨轴承材料，减少烧结，提高高精度加工时的稳定性

　　长寿命高旋转精度（NRRO：μm p-p）：0.05

　　空气轴承结构以及和传统轴承的对比

　　通过和传统轴承的对比可以看出，空气轴承在跳动、回转消耗以及刚性、负载容量和寿命等方面具备压倒性的优势。

应用行业

　　半导体设备

　　减薄机，晶圆检测，抛光机，划片机，倒角机，封装设备

　　高转速精密加工设备

　　精密车床，玻璃镜头研磨设备，高精度单点磨床

　　信息设备制造装置

　　磁盘检查装置，磁头检查装置伺服轨道写入器，激光扫描仪

　　精密测量设备

　　高精度测量仪等

　　NSK产品范围

　　☑︎GBK180R~GBK320R 法兰盘角形、圆形等标准型号均可对应。

　　☑︎特殊用途空气主轴，可根据客户工况进行商讨定制，详细参数请与NSK联络。

关键词：精密轴承,恩斯克

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